工艺能力

• 最小通道宽度：5μm
• 最小圆柱直径：10μm（如果模具为凹坑，则PDMS深宽比不能超过1:1）
• 最小相邻通道间距：20μm
• 最小通道高度：10μm
• 可辨认最小特征尺寸：2μm
• 通道高度:△h=±5%通道高度
• 高度特征的精度:±5%通道高度
• 通道侧壁垂直度：±3°。

我们的优势

含光不采用氟硅烷，独有的PDMS脱模工艺，保证PDMS芯片的生物兼容性及1-10μm结构精确翻模，实现了PDMS芯片大规模量产。