含光研发了多个生物医疗微流控平台解决方案覆盖生化、免疫和分子诊断,并拥有产业链各个环节数十项专利,可以提供微流控产品的定制研发与生产(CDMO)服务。含光拥有医疗器械生产许可证具备给客户提供相应诊断试剂的委托加工服务的能力和资质。

MEMS加工

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薄膜工艺

薄膜淀积系统是微机械工艺的主要加工手段之一,真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或非金属以气相的形式沉积到材料表面,形成一层致密的薄膜。镀膜质量对半导体器件的功能形成至关重要。含光微纳提供溅射和电子束蒸发各种薄膜体系,有金属膜和介质膜。
薄膜工艺
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工艺能力
掌握镀膜技术:


  • 电子束蒸发
  • 磁控溅射
  • LPCVD 
  • PECVD 
  • ALD


镀膜材料:

金属:Ti、AlNi Au、Ag、Cr、Pt、Cu、Tiw90、Pd、Zn、Mo、W、Ta、Nb等
非金属:Si、Si02、SiNx、Al203、HF02、MgF2、ITO、Ta205等

镀膜基底:
硅片、石英玻璃片、蓝宝石片、PET、Pi等

我们的优势
掌握多种镀膜技术,镀膜材料广泛镀膜厚度范围:5nm-2000nm基底尺寸6英寸向下兼容镀膜均匀性好,膜层致密。
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